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  • 艾科瑞思获评2018年度国家硬科技新锐企业
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JX3000/精芯3000
    Publish time 2018-03-01 10:01    

12寸高精度装片机

JX3000/精芯3000



  • 堆叠芯片

  • 支持DAF膜加热装片

  • 高精度：±10μm/±0.3°@UPH 10000

  • 晶圆自动上下料（6-12寸）

  • 第二代自动变焦视觉系统

  • 高性能直驱运动平台


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