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JX3000/精芯3000
    Publish time 2018-03-01 10:01    

12寸高精度装片机



  • 堆叠芯片
  • 支持DAF膜加热装片
  • 高精度:±10μm/±0.3°@UPH 10000
  • 晶圆自动上下料(6-12寸)
  • 第二代自动变焦视觉系统
  • 高性能直驱运动平台

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